详细摘要： 金属有机物前驱体和反应气体在真空腔体交替填充、覆盖且反应，形成原子级精度（厚度和原子排布）的薄膜。
产品型号：ALD-SC6-PE / ALD-SC8-PE/ ALD-SC12-PE所在地：上海更新时间：2024-01-19 在线留言上海德竹芯源科技有限公司
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详细摘要： 金属有机物前驱体和反应气体在真空腔体交替填充、覆盖且反应，形成原子级精度（厚度和原子排布）的薄膜。
产品型号：ALD-SC6-PE / ALD-SC8-PE/ ALD-SC12-PE所在地：上海更新时间：2024-01-19 在线留言
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